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PLD-450型激光鍍膜設備
編號:SN20150801152302885
類別:激光鍍膜設備
  • 產品概述
  • 規格參數
  • 服務支持

    設備用途

       用于制備超導薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、超硬薄膜等。適用于各大專院校、科研院所進行薄膜材料的科研與小批量制備。

     

    設備組成

        系統主要由濺射真空室、旋轉靶臺、抗氧化基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統、安裝機臺、真空測量及電控系統等部分組成。

     

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